Структура и оптические свойства нанокристаллов InAs и InSb, синтезированных высокодозной ионной имплантацией в кремнии

Authors

  • Ф. Ф. Комаров Белорусский государственный университет, Минск Автор
  • О. В. Мильчанин Белорусский государственный университет, Минск Автор
  • Л. А. Власукова Белорусский государственный университет, Минск Автор
  • М. А. Моховиков Белорусский государственный университет, Минск Автор
  • И. Н. Пархоменко Белорусский государственный университет, Минск Автор
  • А. В. Мудрый Научно-практический центр Национальной академии наук Беларуси по материаловедению, Минск Автор
  • В. Веш Университет имени Ф. Шиллера, Йена, Германия Автор

Abstract

Проведены исследования формирования наноразмерных кристаллитов InAs и InSb в кристалличе-ском кремнии методом высокодозной имплантации ионов InAs и InSb попарно и последующей высокотемпературной обработки. Установлено, что размеры кристаллитов и распределение внедрённых примесей по глубине образцов зависят от условий отжига. В спектрах фотолюминесценции образцов с нанокристаллитами зарегистрирована широкая полоса в диапазоне энергий квантов 0,75…1,10 эВ.

Downloads

Published

2013-12-01

Issue

Выпуск 1. Декабрь 2013 года

Section

ФИЗИКО-МАТЕМАТИЧЕСКИЕ НАУКИ

License

Copyright (c) 2023 Вестник БарГУ Серия "Технические науки"

Лицензия Creative Commons

Это произведение доступно по лицензии Creative Commons «Attribution-NonCommercial» («Атрибуция — Некоммерческое использование») 4.0 Всемирная.

Авторы сохраняют за собой право заключать определенные договорные соглашения, касающиеся неисключительного распространения опубликованной версии работы (например, размещать ее в институциональном репозитории, публикация в книге) со ссылкой на ее первоначальную публикацию в этом журнале.